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真空泵之半导体产业介绍
发布日期:2019-08-02
创新是企业的成长动能,汉钟精机是一家专业压缩机生产企业,经过多年持续不断地发展和积累,公司在螺杆、涡旋、离心等压缩机领域拥有了雄厚的技术实力。目前,公司主要产品有制冷产品、空气产品、真空产品和热泵产品等,广泛应用于各行各业,其中制冷产品主要包括螺杆压缩机和离心压缩机,主要应用于商用中央空调和冷链物流行业;空气产品主要包括空气压缩机和空压机机体,主要用于工程机械等气源动力行业;真空产品主要应用于光伏、半导体、锂电池、医药化工等行业;热泵主要应用于集中采暖、工业制热等行业。 
公司真空产品主要是在螺杆、罗茨等相应技术的研制开发、生产销售及售后服务,目前广泛应用于光伏、生物医药、锂电等等领域。近几年,在光伏、LED半导体等领域已实现大批量供货,尤其在光伏领域,以优异的性价比赢得了较大的市场份额,获得国内多家知名光伏企业青睐和好评。现阶段,半导体产业是公司真空产品重点发展方向之一,可广泛运用于半导体行业Load Lock、Metrology、PVD、Ashing、ETCH、IPM、CVD、ALD等各制程,是行业重要的真空通用设备之一。 
目前,公司具备完整的设计研发团队,可自行开发转子线型模拟软件,分析气体压缩、气导设计、流体力学、机械结构及材料力学等;真空泵的转子、壳体、端板等重要零部件亦可自行加工制造,厂内具备转动平衡、特殊表面薄膜镀层、精密组装、氦气测漏、长时间运转测试等测试设备。同时,利用三次元量测仪器,量测每台真空泵组件的精度,控管并实时修正加工质量,保证产品出厂性能。 
经过不断地技术改善和优化,公司真空产品抽气量达到80-7000m3/h,可满足各制程抽气需求。公司具备专业超高精度螺杆设计加工技术,螺杆转子具有更短的抽气路径、更少的密封面,能更有效的处理严苛制程,并延长使用寿命;同时具备半导体专有奈米陶瓷涂层,能更好的处理腐蚀气体、粉尘及粘稠物质;热氮系统方面,在CVD/ETCH制程中表现出色;双层壳体加冷却系统方面,更能保证转子的均匀降温,减少磨损,增加使用寿命。另外,公司自主研发设计的水冷罐装电机,适用于半导体厂各制程的电压,有效降低电机温度,具备优秀的密封设计及低噪音优势。公司主要以柔性生产为主,拥有全球性销售和服务网络,满足客户不同需求。利用公司云端系统服务及公司全天候无休服务理念,进一步提升用户满意度,为客户创造更安心、舒心的使用环境。 
经过多年努力,公司已在光伏、锂电等产业的应用得到了广大用户的认可,目前公司已拥有SEMI 安全基准验证证书,同时也是集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟会员。对真空产品而言,除了稳定市场占有率外,半导体产业将是重点发展方向之一。目前,公司正积极在国内半导体产业扩大推广,通过台湾汉钟在半导体产业的成功案例,已成功通过国内多家大型半导体企业的验证,目前与北京、深圳、上海等多家半导体设备企业已展开合作;另外,在芯片代工厂方面也在同步展开销售,如无锡、江阴、上海等地企业。随着半导体行业不断发展,公司在半导体持续深耕,产品不断更新优化,公司真空产品同样会在半导体市场赢得一席之地!

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